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二氧化碳水發(fā)生器 M系列

二氧化碳水發(fā)生器是一款應用在半導體領域的超純水防靜電裝置,通過獨特的中空纖維模塊將二氧化碳氣體與超純水混合,能夠提高超純水的導電性,降低電阻率,有效防止生產制程中的靜電危害。 

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產品特點

免維護,使用壽命長

電阻率控制穩(wěn)定,電阻率范圍可實現0.02-1.0MΩ·CM

采用超純發(fā)生技術與超純材料及工藝制造,避免、減少金屬污染及析出

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